一种低激励电压RF MEMS开关的分析

摘要：

本文对一独特的MEMS微波开关模型进行了理论分析和仿真，该模型利用扭转臂和杠杆的原理来达到比较低的激励电压，并且获得较好的隔离度。该开关工作在DC-4GHz，插入损耗＜1dB，在1GHz的隔离度＞40dB。

关键词： 低激励电压 微机械开关 扭转弹簧 微波开关

作者: 谢兴军 单红 苏伟

作者单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所 四川绵阳919信箱515分箱 621900 中国工程物理研究院电子工程研究所 四川绵阳919信箱 515分箱 621900 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳919信箱515分箱 621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 四川省电子学会2007年学术年会

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 128-131

在线出版日期: 2007-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）