谐振式微加速度计的发展现状

摘要：

本文介绍了国内外谐振式微加速度计的发展状况，分析了基于振梁轴向应力变化、基于振梁横截面积变化与基于静电刚度变化的等三类谐振式微加速度计的工作原理，并总结了种类谐振式微加速度计的特点及发展方向。

关键词： 谐振式 微加速度计 振梁 静电刚度

作者: 周吴 何晓平 苏伟 李柏林

作者单位: 西南交通大学机械工程学院 成都 610031；中国工程物理研究院电子工程研究所 四川绵阳 621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 四川省电子学会2007年学术年会

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 339-343

在线出版日期: 2007-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）