应用于微加工的观察定位系统

摘要：

本论文设计了一套微加工适时监控定位系统。根据微加工过程中遇到的定位问题，采用同轴方式，通过变焦镜头配合物镜将加工面成像在CCD传感器上的方法，实现了对加工面的监控；利用软件设置定位线，实现了对微小器件精确定位。解决准分子激光微细加工的观测定位问题。

关键词： 微加工 精确定位系统 准分子激光 激光微细加工 CCD传感器 同轴方式

作者: 杜国军 王咏梅 王英鉴

作者单位: 中国科学院空间科学与应用研究中心 北京 100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国空间科学学会空间探测专业委员会第二十次学术会议

会议地点: 湖南张家界

会议语种:中文

页码: 384-387

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）