三明治结构大量程MEMS惯性伺服加速度计研究
良好稳定性和大量程设计一直是困扰微惯性加速度计研制的两个难题，本文对影响微加速度计稳定性的主要因素(外置偏压和横向加速度干扰)进行了详细分析，对加速度计各参数对量程的本质影响及其相互关系进行了研究，理论分析和计算机仿真结果表明：根据给出的四梁中心悬臂结构，在典型结构参数下，惯性敏感单元可承受的最大横向加速度达2000g以上，采取质量块减薄和打孔并用的方法可以保证加速度计具有70g以上量程。
微机械 加速度计 四梁中心悬臂结构 大量程设计
陈宇晓
中国工程物理研究院电子工程研究所 四川 绵阳 621900
国内会议
四川绵阳
中文
402-405
2007-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）