集成电路技术发展

摘要：

微电子技术从上个世纪60年代开始发展，现在已经成为推动电子技术发展的最重要的基础和推动力。本文回顾了微电子技术的发展过程，并对其未来的发展做了初步的展望，并结合微电子的产业结构做了分析。

关键词： 微电子技术 集成电路 版图工艺

作者: 龙小毅

作者单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 四川省电子学会2007年学术年会

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 352-353

在线出版日期: 2007-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）