长春光机所软X射线-极紫外波段光学研究
综述了我所软X射线-极紫外波段关键技术的研究进展.描述了软X射线-极紫外波段光源技术,研制了工作波段为6～22 nm的微流靶激光等离子体光源;介绍了光子计数成像探测器技术,研制出了有效直径为25 mm,等效像元分辨率为0.3 mm的极紫外波段探测器;开展了超光滑表面加工、检测技术的研究,研制了超光滑表面抛光机,加工出高面形精度的超光滑表面,面形精度为6 nm(RMS值),表面粗糙度达0.6 nm(RMS值);进行了软X射线-极紫外波段多层膜技术的研究,研制出13 nm处反射率为60％的多层膜反射镜,150 mm 口径反射镜的反射率均匀性优于±2.5％;最后,讨论了软X射线-极紫外波段测量技术研究,研制出该波段反射率计,其测量范围为5～50 nm,光谱分辨率好于0.2 nm,测量重复性好于士1％.在上述关键技术研究基础上,研制出了极紫外波段成像仪和空间极紫外波段太阳望远镜,这些仪器在我国空间科学研究项目中发挥了作用。
空间光学 软X射线 极紫外 长春光机所
陈波 尼启良 王君林
中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033
国内会议
上海
中文
1862-1868
2007-04-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）