芯片封装设备焊头柔性铰直线缓冲结构的设计
焊头是IC芯片粘片机的关键部件,焊头上的吸嘴将晶圆上的芯片吸起,传送并压焊到引线框架上.在取芯片和焊芯片瞬间,吸嘴要对芯片施加压力.为了保证吸嘴和芯片快速接触时不会对芯片造成破坏性冲击,焊头机构除了应具有精密的结构和精确运动控制外,焊头本身也要有良好的缓冲功能和具有一定的刚度.提出一种焊头柔性铰直线缓冲结构,讨论柔性铰结构的原理和分析结果,通过实验验证该结构是合理可行的.
芯片封装 焊头 柔性铰直线 缓冲结构设计 缓冲功能
刘吉安 翁纪钊 李克天 刘建奇 黄向修
广东工业大学,广州,510006
国内会议
第十一届全国包装工程学术会议暨包装动力学专委会成立20周年大会
郑州
中文
31-33
2007-08-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）