HgCdTe微台面红外焦平面技术研究

摘要：

文章报导了采用液相外延(LPE)生长P型材料、B离子注入成结、全干法深台面刻蚀、深台面侧向钝化及电极引出技术制备出中波320 × 256HgCdTe微台面阵列结构,其相元中心距为30μm,截止波长为5.0μm.

关键词： 微台面结构 干法刻蚀 侧向钝化 液相外延

作者: 朱西安 孙浩 王成刚 胡小燕 刘明

作者单位: 华北光电技术研究所,北京,100015

会议类型: 国内会议

会议名称: 首届全国先进焦平面技术研讨会

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 826-828

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）