Ⅲ族氮化物紫外探测器及其研究进展

摘要：

文中简单介绍了紫外波段光电探测的基本特点,包括各波段特点、大气吸收等,并粗略介绍了紫外探测的部分应用.然后对Ⅲ族氮化物宽禁带紫外探测器材料体系的研究进展进行了回顾,重点介绍了包括P型材料的制备、金属半导体接触、材料的蚀刻等方面;最后,对国内外近期的紫外探测器特别是紫外焦平面器件的研究进展作了一些评述.

关键词： 紫外探测器 氮化镓 铝镓氮 紫外焦平面器件 光电探测

作者: 龚海梅 李向阳 亢勇 许金通 汤英文 李雪 张燕 赵德刚 杨辉

作者单位: 传感技术国家重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083 中国科学院半导体研究所,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 首届全国先进焦平面技术研讨会

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 812-816

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）