退火对硫化后的P+型InP表面性能的影响

摘要：

文章采用光致发光(PL)测试和X射线光电能谱(XPS)测试相结合的方法,对硫化前后P+型InP的PL光谱以及表面化学成分进行了分析,得到了退火对硫化过的InP表面性能的影响结果;同时得到了S在InP表面所成键的结构以及稳定性随温度的变化的情况.

关键词： 光致发光 X射线光电子能谱 退火

作者: 庄春泉 汤英文 龚海梅

作者单位: 中科院上海技术物理研究所红外传感技术国家重点实验室,上海,200083

会议类型: 国内会议

会议名称: 首届全国先进焦平面技术研讨会

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 894-896

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）