AlGaN材料金属接触的性能和界面结构研究

摘要：

文章通过AlGaN材料的金属接触制作工艺和接触性能、接触界面显微结构和基础理论研究等诸方面反映AlGaN材料的欧姆接触及势垒接触研究概况和最新进展.

关键词： 铝镓氮材料 欧姆接触 界面结构 显微结构

作者: 胡正飞 沈晓明 周盛容 侯艳芳 梁骏吾 李向阳 龚海梅 李雪

作者单位: 同济大学材料学院,上海,200092 中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083

会议类型: 国内会议

会议名称: 首届全国先进焦平面技术研讨会

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 867-872

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）