碲锌镉表面腐蚀坑所对应缺陷的特性研究

摘要：

文中通过使用Nakagawa、Everson、EAg1和EAg2四种常用腐蚀剂对碲锌镉材料的腐蚀坑空间分布特性进行研究,结果显示,20μm厚的(111)晶片A、B面上的腐蚀坑在空间位置上不存在对应关系,这表明腐蚀坑所对应的缺陷不是具有穿越特性的位错.腐蚀坑的空间局限性特征和热处理后腐蚀坑密度(EPD)减少等实验结果表明,腐蚀坑更有可能对应某种微沉淀物缺陷,将目前常用腐蚀剂的EPD作为碲锌镉材料的位错密度是缺乏实验依据的.

关键词： 碲锌镉 腐蚀坑密度 微沉淀缺陷 位错密度

作者: 刘从峰 方维政 涂步华 孙士文 杨建荣 何力

作者单位: 中国科学院上海技术物理研究所,功能材料与器件研究中心,上海,200083

会议类型: 国内会议

会议名称: 首届全国先进焦平面技术研讨会

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 849-852

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）