Si基复合衬底碲镉汞液相外延技术的研究

摘要：

本文阐述了采用Si基复合衬底,利用液相外延方法成功进行中波碲镉汞薄膜生长的情况,并且采用X光双晶衍射、X光形貌、红外付立叶光谱仪等手段对碲镉汞薄膜进行了表征。Si基复合衬底碲镉汞外延膜晶体结构为单晶,并且它的双晶衍射半峰值接近国外同类产品的先进水平。

关键词： 红外探测器 碲镉汞薄膜 液相外延 Si基衬底 双晶衍射

作者: 周立庆 刘兴新 巩锋 史文均

作者单位: 华北光电技术研究所,北京,100015

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国先进焦平面技术研讨会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 1054-1056

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）