SIMS在碲镉汞红外焦平面探测器工艺中的应用

摘要：

本文介绍了二次离子质谱仪的结构及其基本工作原理,并通过对典型应用的分析,介绍了二次离子质谱分析技术在高灵敏度碲镉汞红外焦平面探测器材料和器件制备工艺中的作用,特别是在结探监测和微量杂质监控方面所发挥的重要作用。

关键词： 红外探测 质谱分析 离子质谱 碲镉汞半导体

作者: 朱西安 左雷 李震

作者单位: 华北光电技术研究所,北京,100015

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国先进焦平面技术研讨会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 1013-1015

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）