碲镉汞表面硫化的光电子能谱及器件性能研究

摘要：

利用X射线光电子谱(XPS)对HgCdTe表面的硫化特性进行了研究,发现溴腐蚀后的表面硫化处理可以去掉表面的氧化层,Te富集的程度大大减少,硫化处理后再长硫化锌对器件进行钝化,可以大大减少器件的表面漏电,增加器件工作电压和提高器件性能.

关键词： 光电子谱 HgCdTe 表面硫化 电学性质

作者: 汤英文 庄春泉 许金通 游达 李向阳 龚海梅

作者单位: 传感技术国家重点实验室,上海技术物理研究所,中国科学院,上海,200083

会议类型: 国内会议

会议名称: 首届全国先进焦平面技术研讨会

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 835-836,848

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）