基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针

摘要：

介绍了基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针的工艺过程，分析了制备的技术关键，试验优选了关键制备环节的工艺参数。试验结果表明：采用优化的工艺条件能低成本制备出形貌质量高、缺陷少的微型柔性镍接触探针。

关键词： UV-LIGA 柔性镍接触探针 SU-8胶 光刻 电铸 集成电路检测

作者: 明平美 朱荻 胡洋洋 赵波 曾永彬

作者单位: 河南理工大学机械与动力工程学院，河南焦作，454000 南京航空航天大学，江苏南京，210016

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国智能制造学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2006-12-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）