梳齿式微机械加速度计的设计与实现

摘要：

微机械加速度计作为微机电系统(MEMS)的一个重要产品,目前已经得到了广泛应用。本文首先分析了伺服微机械加速度计的工作原理和数学模型,并讨论了伺服回路和敏感元件之间的关系；然后根据梳齿式微机械加速度计的敏感元件的特性设计了相应的伺服电路；最后对加速度计的性能进行了测试,结果表明：微机械加速度计的量程为±15g,非线性度为0.0419％,阈值为0.15mg,2小时稳定性误差为0.0845mg,逐次启动重复性误差为0.156127mg.

关键词： 微机电系统 微机械加速度计 闭环系统

作者: 李童杰 董景新 刘民杰 孙宵 赵长德

作者单位: 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国航空学会飞行器控制与操纵第十二次学术交流会暨陀螺与惯导第三次学术交流会

会议地点: 福建泰宁

会议语种:中文

页码: 258-261

在线出版日期: 2007-08-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）