大载荷冲击后静电力反馈微加速度计吸合研究

摘要：

冲击载荷强迫微加速度计的敏感质量大大偏离平衡位置,使差动静电力发生器的非线性效应体现出来,其结果是使原来的敏感质量在平衡位置附近发生小位移时成功建立的负反馈闭环系统模型不再适用,敏感质量的受控特性可能变为正反馈,使得微加速度计失效.为提高微加速度计受外界大载荷冲击时的可靠性,本文分析了加速度计的敏感质量在不同限制的静电反馈力下的受控特性及对应的闭环系统特性,推导了在已知止挡机械参数下确定微加速度计相应电气参数从而避免此类失效的防吸合准则.多次的验证实验表明,按防吸合准则确定了电气参数的静电力反馈加速度计,在受到远超过其本身量程的载荷冲击后,可以100％地规避吸合现象的出现。

关键词： 微机电系统 加速度计 大载荷冲击 静电力反馈 可靠性

作者: 万蔡辛 董景新 刘云峰

作者单位: 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国航空学会飞行器控制与操纵第十二次学术交流会暨陀螺与惯导第三次学术交流会

会议地点: 福建泰宁

会议语种:中文

页码: 239-243

在线出版日期: 2007-08-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）