一种新型压阻式气体传感器及其理论建模
本文提出了一种基于硅压阻效应的新型气体传感器,其结构主要是由制作在硅薄膜表面的惠斯通电桥和在硅薄膜表面积淀的一层聚合物气敏薄膜构成。聚合物气敏薄膜在吸收气体后会导致硅薄膜变形,此变形将通过压阻式惠斯通电桥转变成电压输出.并且,本文应用弹性力学薄板原理建立了该气体传感器中硅薄膜与聚合物薄膜相互作用的理论模型,提出了气体传感器的等效横向气体载荷qg并由此导出了传感器的最终输出公式。理论分析表明该传感器的输出具有很好的线性,而且结构简单、无需加热、可实现高度集成、制作工艺与MEMS工艺技术兼容。
气体传感器 硅薄膜 聚合物 压阻效应
严俊 陈向东 李辉 苏凤 罗雪松
西南交通大学,信息科学与技术学院,四川,成都,610031
国内会议
成都
中文
61-65
2007-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）