微机械加速度传感器的电学模拟

摘要：

通过建立微机械电容式加速度传感器的等效电学模型,并用该模型对微机械结构和读出电路进行综合仿真,研究了加速度传感器对不同频率的正弦加速度信号和不同阻尼系数下的阶跃加速度信号的振动位移响应。仿真结果表明,利用等效电学模型可以优化设计微机械系统的整体性能和传感器的机械参数。

关键词： 加速度传感器 电学模拟 振动位移响应

作者: 史修芬 戴强

作者单位: 电子科技大学微固学院,成都,610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 四川省电子学会半导体与集成技术专委会第二届学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 4-7

在线出版日期: 2007-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）