类金刚石薄膜的摩擦化学研究

摘要：

利用等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了含氢类金刚石薄膜。在球-盘摩擦磨损试验机上考察了湿度对薄膜摩擦磨损性能的影响,利用扫描电子显微镜和X射线光电子能谱观察和分析了摩擦表面形貌和化学状态的变化情况。结果表明,随着湿度的增加,DLC薄膜的摩擦系数和磨损率都增加。这主要是由于薄膜表面氧化作用所致.

关键词： 类金刚石薄膜 摩擦性能 磨损性能 摩擦化学 化学气相沉积

作者: 王成兵 张俊彦

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国摩擦学大会

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 54-55

在线出版日期: 2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）