超润滑类金刚石薄膜的制备

摘要：

利用脉冲直流辉光放电技术在单晶硅表面制备了具有特殊结构的氢化类金刚石薄膜。在球盘摩擦磨损试验机上考察了薄膜在空气气氛下的摩擦磨损性能,利用SEM和XPS观察和分析了摩擦表面形貌和化学状态的变化。结果表明：该薄膜在空气下具有超润滑特性。XPS碳谱分析表明：该氢化类金刚石薄膜在摩擦过程中没有发生较明显的氧化反应。

关键词： 类金刚石薄膜 超润滑 脉冲直流辉光放电 磨损性能 摩擦性能

作者: 张俊彦 王成兵

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国摩擦学大会

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 52-53

在线出版日期: 2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）