磁控溅射沉积Ti、Al掺杂的类金刚石碳薄膜的摩擦学性能

摘要：

利用磁控溅射技术在p(100)型单晶硅表面制备了Ti、Al掺杂类金刚石碳薄膜。采用X射线光电子能谱和原子力显微镜等研究了薄膜的微观结构和表面形貌,在UMT-2MT型摩擦磨损试验机上考察了薄膜在不同频率(滑动速度)下的摩擦学性能。结果表明：所制备的薄膜均匀、致密,表面光滑平整,与基底结合力较高；薄膜与钢球对摩时显示出良好的抗磨减摩性能；随着试验频率的提高,薄膜的摩擦系数降低,耐磨寿命降低；薄膜的减摩抗磨性能同其在钢球偶件磨损表面形成的转移膜相关.

关键词： 磁控溅射 类金刚石碳薄膜 摩擦学性能 原子力显微镜 表面形貌

作者: 逄显娟 石雷 王鹏 张广安 张俊彦 刘维民

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000;中国科学院研究生院,北京,100039 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000 兰州大学,甘肃,兰州,730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国摩擦学大会

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 39-42

在线出版日期: 2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）