微机电系统的关键摩擦学问题研究进展
纳米科技是面向21世纪的高科技.目前,信息、生物、先进制造等高新技术领域的微型化趋势极大地促进了微机电系统(MEMS)的发展。然而,由于表面和尺寸效应的影响,当器件尺度减小到微米量级时,以粘着力和摩擦力为代表的表面力相对体积力增大近千倍,导致微机电系统产生严重的粘着、摩擦与磨损问题,从而派生出纳米摩擦学的新研究方向。面向微机电系统的应用,深入开展包括纳动磨损在内的微磨损机理的研究,是值得摩擦学工作者深入思考和研究的重大课题。本文对上述问题进行了探讨。
微机电系统 表面力 粘着力 摩擦力 纳动磨损 纳米摩擦学
钱林茂
西南交通大学,牵引动力国家重点实验室摩擦学研究所,四川,成都,610031
国内会议
广州
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13-14
2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）