内置式微型电液动力泵的研究

摘要：

本文介绍了一种新型电子冷却技术-微型电液动力泵的工作原理,并且运用了MEMS技术,在硅片上加工了梳状电极形式的微型电液动力泵.采用直流电压驱动对HFE7100进行了相关实验研究,取得良好效果。

关键词： 电子冷却 微型电液动力泵 传热

作者: 于翮 孙翠霞 俞坚

作者单位: 北京工业大学环境与能源学院,强化传热与过程节能教育部重点试验室,北京,100023

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年传热传质学学术会议

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 905-908

在线出版日期: 2007-11-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）