会议专题

离子注入损伤补偿方法研究

文简述了离子注入、离子注入损伤及损伤补偿的基本原理和实现的工艺方法,并对采用真空退火系统完成离子注入损伤补偿的结果进行了测试和分析。

离子注入 离子注入损伤 损伤补偿 真空退火系统

张莉 宋献才

中国工程物理研究院五所

国内会议

四川省电子学会电子测量与仪器专委会第十一届学术年会

四川攀枝花

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333-336

2003-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)