微型半导体致冷露点传感器

摘要：

微型半导体致冷露点传感器是一种高灵敏度的测量气体含水量的新型传感器.它用微型半导体致冷器为冷源,用薄膜交指电容作为对”露水”的敏感元件,用薄膜铂热敏电阻为露点温度测量元件,在外电路的控制下,把被测气体的露点温度信息传送到测量电路。它体积小巧、结构紧凑、使用方便、测量快速、数据可靠.在露点为-50℃以上的气体含水量的测量中必将有着广泛的用途。

关键词： 半导体致冷器 露点传感器 薄膜交指电容 薄膜铂热敏电阻 露点温度测量

作者: 曾文富

作者单位: 中国工程物理研究院五所

会议类型: 国内会议

会议名称: 四川省电子学会电子测量与仪器专委会第十一届学术年会

会议地点: 四川攀枝花

会议语种:中文

页码: 191-195

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）