Li、Mg双组分掺杂ZnO薄膜的结构与性能

摘要：

采用溶胶-凝胶法Li、Mg双组分掺杂制备ZnO薄膜。利用XRD、AFM、Hall测试仪、分光光度仪等对薄膜结构和电学光学性能表征与分析,探讨了 Li、Mg双组分掺杂离子、掺杂比例对ZnO薄膜晶体生长和光、电性能的影响。研究表明Li、Mg双组分掺杂提高了ZnO薄膜的电阻率；在可见光范围仍具有较好的透光性能,双组分掺杂ZnO薄膜因为Mg的掺入而具备了Zn1+x-yMgxO薄膜的相关光学特性,吸收峰具有蓝移现象,禁带宽度变大；结晶性能变差,晶粒变小,c轴的取向性变差.

关键词： 氧化锌薄膜 掺杂效应 薄膜结构 晶体生长 电阻率 透光率

作者: 李珍 艾常涛 陈文 李飞 杨密纯

作者单位: 武汉理工大学,材料科学与工程学院,湖北,武汉,430070;中国地质大学,材料科学与化学工程学院,湖北,武汉,430074;湖北大学,铁电压电材料与器件湖北省重点实验室,湖北,武汉,430062 中国地质大学,材料科学与化学工程学院,湖北,武汉,430074 武汉理工大学,材料科学与工程学院,湖北,武汉,430070

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 4070-4074

在线出版日期: 2007-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）