液相等离子沉积非晶态碳膜的试验研究

摘要：

应用简单的电镀槽,通过阴极/电解液界面前沿气泡鞘的形成而建立辉光放电,促成非晶态碳薄膜在电极表面的沉积.沉积物宏观上分布不均匀,在阴极浸入电解液的末端,由于电流的尖端效应,导致生成物为石墨.而远离末端为正常沉积区,表面平整光滑,生成物为非晶态碳膜。结论：液相等离子沉积行为可发生在辉光放电条件下的阴极过程,从而可应用于非晶态薄膜如非晶态碳的制备.

关键词： 电镀技术 等离子液相沉积技术 非晶态碳薄膜

作者: 陈祝平 杨光

作者单位: 集美大学,机械工程学院,福建,厦门,361021

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 4061-4063

在线出版日期: 2007-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）