等离子振动反应室的研究

摘要：

通过对振动阴极反应室的研究,针对粉粒与金属阴极接触的问题,提出新的改进设计.采用射频电源感应线圈,振动石英管内部放电的方式进行刻蚀.既有振动阴极反应室的效果,又避免掺入杂质,是一种可行的新反应室设计.

关键词： 太阳级硅原料 硅粉纯化 振动阴极反应室 射频感应

作者: 赵亮 尹盛 王敬义 赵伯芳

作者单位: 华中科技大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 4025-4027

在线出版日期: 2007-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）