冷等离子体中的粉体研究

介绍了在冷等离子体中粉体研究的几个重要成果,分析了粉体在两种反应室结构中的运动、沉降时间及刻蚀状况。理论分析和实验结果表明带振动阴极的反应室在粉体表面刻蚀方面比传统阴极结构的反应室要优越得多.研究表明冷等离子体对硅粉纯化具有应用前景。
冷等离子体 粉体表面刻蚀 硅粉纯化
王敬义 尹盛 赵亮 赵伯芳
华中科技大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074
国内会议
武汉
中文
4022-4024
2007-11-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
冷等离子体 粉体表面刻蚀 硅粉纯化
王敬义 尹盛 赵亮 赵伯芳
华中科技大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074
国内会议
武汉
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2007-11-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)