六角相GaN外延膜的高分辨X射线衍射分析研究

摘要：

通过实例介绍运用高分辨X射线衍射分析技术对GaN异质外延薄膜材料的微结构进行研究,希望能获得不同缓冲层生长与优化工艺以及结构模型对其结构特性参数影响方面的信息,为GaN材料和器件制备者提供有用的参考。

关键词： 薄膜材料 高分辨X射线衍射 异质外延 氮化镓材料

作者: 姬洪 周勋 邹泽亚 左长明

作者单位: 电子科技大学,电子薄膜与集成器件重点实验室,四川,成都,610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 3977-3980

在线出版日期: 2007-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）