大气开放式MOCVD方法制备ZnO薄膜的气敏特性研究

摘要：

利用大气开放式MOCVD在氧化铝基片上沉积ZnO薄膜,研究了沉积工艺参数对薄膜形貌的影响,结果表明基片温度对ZnO薄膜的晶体形貌有显著的影响,在一定的条件下能够沉积出具有高比表面积花瓣片层结构的ZnO薄膜。以酒精蒸气为例,研究了ZnO薄膜对碳氢有机化合物气体的气敏特性,结果表明结晶度高且晶粒细小、比表面积高的薄膜具有较好的气敏特性。

关键词： 金属有机物 化学气相沉积 ZnO 碳氢化合物 气敏特性

作者: 沈敬亭 张跃

作者单位: 北京航空航天大学,材料科学与工程学院,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 2684-2686

在线出版日期: 2007-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）