热蒸发沉积法制备多足状ZnO及其生长机理的研究

摘要：

利用热蒸发沉积方法,使用高纯Zn粉为原料(＞99.99％),在常压下,成功制备了多针状的ZnO微结构。当沉积气氛为纯氧气时,多针ZnO单支的直径尺寸在2μm左右,通过调整Ar和O2的比例,发现当蒸发源温度为800℃,气体流量控制在Ar:O2=0.5L/min:0.1L/min的时候,所制备的多足状ZnO的单支直径减小为400nm.采用XRD和SEM对样品进行了表征,并对形成这种多针状ZnO的生长机理进行了详细的讨论。

关键词： 热蒸发沉积法 多针状氧化锌 生长机理 多足状ZnO

作者: 谭天 刘毅 宋雪梅 王波 严辉

作者单位: 北京工业大学,材料学院,薄膜材料实验室,北京,100022

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 2332-2334

在线出版日期: 2007-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）