用等离子体方法以及化学处理对Ti-O薄膜进行活化改性的研究

摘要：

采用磁控溅射法制备Ti-O薄膜,然后采用等离子体浸没离子注入设备,以氢气作为离子注入源,轰击至钛氧薄膜表面,使其产生羟基基团.并对注入后样品进行酸活化,以期得到更多的羟基.采用傅立叶红外光谱仪(FTIR)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)等对材料表面的结构、成份、官能团变化进行表征。研究结果显示,Ti-O薄膜经H+注入后再进行活化,磁控溅射Ti-O薄膜得到明显增多的羟基.

关键词： 钛氧薄膜 等离子体活化 酸活化 表面羟基化

作者: 樊珊 陈俊英 孙鸿 黄楠

作者单位: 西南交通大学材料科学与工程学院,材料先进技术教育部重点实验室,四川,成都,610031

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 1816-1818

在线出版日期: 2007-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）