有机太阳能电池ITO电极的光刻制备法及其研究
目前有机太阳能电池是光电行业研究的热点之一.通常该器件以ITO为阳极,通过真空蒸镀的方法制作。在对器件进行测试时,ITO电极的设计制作,有利于器件的保护.用光刻技术进行ITO电极的制作,可以得到非常精细的结果。重点阐述了利用光刻方法制作优良ITO电极的注意点,包括表面清洗、曝光控制、显影控制和腐蚀工艺,其中由于不同ITO玻璃的导电层厚度、各成分含量不同,所以腐蚀工艺的研究是重点中的重点。提供了对生成光刻ITO电极的质量进行准确评价的一种简便方法。
ITO电极 光刻制备法 方块电阻 太阳能电池
席曦 王振交 杨辉 乔琦 季静佳 陆红艳 李果华
江南大学,理学院,江苏,无锡,214122 江南大学,信息工程学院,江苏,无锡,214122 无锡尚德太阳能电力有限公司电池研发部,江苏,无锡,214028;江苏省光伏工程技术中心,江苏,无锡,214028 江南大学,理学院,江苏,无锡,214122;江苏省光伏工程技术中心,江苏,无锡,214028
国内会议
武汉
中文
1533-1535
2007-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）