低温热处理条件对TFA-MOD方法制备的YBCO薄膜的影响研究
目前,三氟乙酸-金属有机沉积(简称TFA-MOD)方法是制备YBa2Cu3O7-δ(简称YBCO)涂层导体最有应用前景的方法之一.系统地研究了TFA-MOD过程中低温热处理条件(升温速率和气氛)对在LaAlO3单晶基片上生长的YBCO薄膜的影响。研究结果表明,低温热处理的气氛为纯O2时,200～250℃区间的分解速度不能太快,否则YBCO薄膜就不均匀和致密,薄膜中会出现较多的孔洞,薄膜的面外取向性也较差,从而影响薄膜的超导性能,然而过慢的分解速度也会使薄膜表面有较大的CuO析出物。分解速度为0.08℃/min时才可以得到结构和超导性能良好的YBCO薄膜。同时研究也发现在低温热处理过程中如果采用Ar和2.5％O2混合气氛则可以减弱三氟乙酸盐分解的剧烈程度,从而使低温热处理的分解速度提高到0.8℃/min,得到的YBCO薄膜同样具有较好的面外取向性和超导性能。
YBCO薄膜 涂层导体 三氟乙酸 金属有机沉积 超导性能
崔旭梅 王军 刘国钦 陶伯万 李言荣
攀枝花学院,材料工程系,四川,攀枝花,617000 电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054
国内会议
武汉
中文
477-479
2007-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）