溶胶凝胶法制备闪耀光栅及特性研究
采用一步催化法,制备ZrO2光敏溶胶,用提拉法形成了单层光敏凝胶膜。采用紫外光刻技术,将掩摸图形转移到光敏凝胶膜上,通过曝光角度的控制,实现具有一定倾角的闪耀光栅制备.以紫外分光光度计,红外分光光度计,原子力显微镜等方法对光敏凝胶膜及光栅图形进行了性能测试及表征。并用355nm激光系统进行衍射效率及激光损伤阈值测定。获得了周期为2μm,高度为60nm,闪耀角为3°的闪耀光栅.
溶胶凝胶法 鳌合环 闪耀光栅 ZrO2光敏溶胶 一步催化法 紫外光刻
刘春泽 周斌 徐翔 杜艾 叶君建 张志华 吴广明 沈军
同济大学波,耳固体物理研究所,上海,200092
国内会议
武汉
中文
425-428
2007-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）