热氧化法制备透明超疏水ZnO薄膜

摘要：

高透明性的无机超疏水薄膜材料具有广阔的应用前景。采用磁控溅射法制备出表面具有纳米结构的金属Zn前驱体薄膜,并利用在低气压5Pa,温度350℃热氧化方法对其采取了处理,获得了接触角为151°,可见光透过率达80％以上的超疏水ZnO薄膜。SEM表明薄膜由100nm短棒状的ZnO堆积而成,通过XRD,IR的测量与分析,进一步讨论了沉积条件及热氧化处理对超疏水透明ZnO薄膜形成机理。

关键词： 超疏水薄膜 透明ZnO薄膜 磁控溅射法 热氧化法 纳米结构

作者: 刘毅 谭天 宋雪梅 李耳 王波 严辉

作者单位: 北京工业大学,材料学院,薄膜材料与技术实验室,北京,100022

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 303-306

在线出版日期: 2007-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）