MOCVD法制备SnO2单晶薄膜的结构和光学性质

摘要：

用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法在蓝宝石(0001)衬底上制备出高质量的氧化锡(SnO2)单晶薄膜。对制备薄膜的结构和光学性质进行了研究。制备样品具有纯SnO2的四方金红石结构,其外延生长方向为SnO2(100)//Al2O3(0001)。薄膜均匀、致密,具有很好的取向性和结晶性。透射谱测量结果表明,在可见光区薄膜的绝对透过率达到了90％以上.

关键词： MOCVD 氧化锡单晶薄膜 蓝宝石衬底 光学性质 外延生长

作者: 冯先进 马瑾 杨帆 栾彩娜

作者单位: 山东大学,物理与微电子学院,山东,济南,250100

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 298-299

在线出版日期: 2007-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）