化学溶液电沉积法制备Li2SiO3薄膜研究

摘要：

利用化学溶液电沉积方法,在阴极和阳极衬底材料上都成功制备出了单相的含氧酸盐硅酸锂(Li2SiO3)薄膜。探讨了该工艺下的实验反应机理。通过X射线衍射技术(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)分别表征研究了不同实验条件下薄膜的晶体结构和表面形貌.研究结果表明,采用化学溶液电沉积法制备的Li2SiO3薄膜具有物相结构单一,表面形貌平整致密的特点。与制备Li2SiO3的传统方法相比,这一技术具有廉价、简单、低温等特点。

关键词： 硅酸锂 薄膜 化学溶液电沉积

作者: 黄昕 余萍 肖定全 田云飞 王辉 安红娜 谢瑞士

作者单位: 四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 1675-1677

在线出版日期: 2007-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）