退火气氛对Al-F共掺杂ZnO透明导电薄膜性能的影响

摘要：

通过溶胶-凝胶法,采用Al、F共掺杂的方法在4种不同的气氛下制备ZnO薄膜,研究了薄膜的晶体结构、表面形貌、电阻率和透光性随退火气氛的变化关系.制备的Al:F:ZnO薄膜是具有六角纤锌矿结构的多晶薄膜。4种退火气氛相比,在空气气氛下退火时,平均晶粒尺寸最大,为43.4nm,导电性能最好,电阻率可低达6.5×10-2Ω·cm.4种退火气氛下,薄膜在可见光范围内的平均透过率均达到了75％以上,其中,空气气氛下退火时薄膜的透光性最好。

关键词： ZnO导电薄膜 AlF共掺杂 溶胶凝胶法 退火气氛 导电性能

作者: 周丽萍 吕珺 汪冬梅 陈雯雯 吴玉程 郑治祥

作者单位: 合肥工业大学,材料科学与工程学院,安徽,合肥,230009

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 536-538

在线出版日期: 2007-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）