光敏性杂化SiO2波导薄膜的制备、表征及应用

摘要：

利用有机/无机杂化方法制备了光敏性溶胶-凝胶(sol-gel)SiO2材料,在预生长了18μm厚的SiO2上包层的硅基片上旋涂成膜。经前烘、紫外曝光、后烘的薄膜在5μm×5μm的扫描范围内的表面粗糙度只有0.266nm,表面起伏度只有0.336nm.利用紫外光直写技术,制作出条形波导器件。SEM照片表明波导端面形状较好,侧壁陡直.对1×4多模干涉型分束器进行初步的通光测试,观察到分光效果较好的近场输出图像。

关键词： 溶胶凝胶 紫外光直写 有机无机杂化 光波导 分束器 SiO2薄膜材料

作者: 王玥 吴远大 李建光 安俊明 王红杰 张家顺 尹小杰 胡雄伟

作者单位: 中国科学院,半导体研究所光电子研究发展中心,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 327-329

在线出版日期: 2007-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）