二氧化钒薄膜微结构和光学相变特性
二氧化钒薄膜是最有前途应用到非制冷红外微测热辐射计的材料。它的特性与制备方法、化学计量比、结构和取向等有直接关系,仔细控制工艺参数是制备应用的VO2薄膜关键。研究中采用脉冲磁控反应溅射方法,通过精确地控制功率、氧分压、基底温度等关键工艺参数,在石英玻璃和硅片上制备VO2薄膜。利用X射线衍射和X射线光电子谱,分析了薄膜的成分、相结构、结晶和价态情况,用原子力显微镜表征了薄膜的微观结构,在光谱仪对VO2薄膜的高低温光学特性原位测量。结果表明,得到的VO2薄膜纯度高、相结构单一、结晶度、多晶生长.在波数2000cm-1高低温透射变化达到51％。
二氧化钒薄膜 脉冲溅射 微结构 光学相变 红外热辐射计 脉冲磁控反应溅射
许旻 邱家稳 崔敬忠 王洁冰 何延春
兰州物理研究所,表面工程技术国家重点实验室,甘肃,兰州,730000
国内会议
武汉
中文
211-213
2007-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）