MOEMS光开关中一种新的微镜驱动方式

摘要：

本文提出一种新的微镜静电驱动方法,即双极脉宽调制(BPWM)+镜片闭环控制方式。首先介绍了MOEMS光开关实现方案及PWM驱动方式概述。重点阐述了双极脉宽调制(BPWM)+镜片闭环控制方式的实现方法,并比较了与通常的D/A+高压运放方式的优势所在,提高了镜片的倾斜精度,用镜片闭环控制方式解决了可靠性的问题。

关键词： 微光机电系统 光开关 双极脉宽调制 闭环控制

作者: 申中华 李勇

作者单位: 武汉邮电科学研究院,湖北,武汉,430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国青年通信学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1064-1067

在线出版日期: 2007-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）