硅温度传感器的研制

摘要：

根据半导体材料电阻率随温度变化的性质研究硅温度传感器的温敏特性,给出其基本结构和制造工艺,并对硅温度传感器的电阻～温度特性、灵敏度及工作电流进行了分析,并制作出硅温度传感器样品.

关键词： 硅温度传感器 载流子 灵敏度 温敏特性

作者: 杨虹 王智鹏 杨鹏 李言荣

作者单位: 重庆邮电大学,光电工程学院,重庆;电子科技大学,微电子学与固体电子学院,成都,610054 重庆邮电大学,光电工程学院,重庆 电子科技大学,微电子学与固体电子学院,成都,610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国青年通信学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 989-992

在线出版日期: 2007-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）