中医用高精度阵列式压力传感器信号处理系统的设计

摘要：

本文提出了使用”微桥”法制造阵列式传感器的方法。分析了传感器的精度需求、传感器的设计原理及阵列分布。并详细分析了传感器的CMOS电路设计和构建方法。从传感器的构造法、膜片的形状的选择、阵列分布及引线设计,分析了提高系统的测量精度、扩大了测量的范围、减少了采样点的数目、减少了引线数目和布线层数、降低了制作工艺困难的方法。

关键词： 阵列式传感器 微桥法 读出电路 压力传感器 信号处理系统

作者: 付晶晶 姜岩峰

作者单位: 北方工业大学信息工程学院微电子中心,北京,100041

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国青年通信学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 810-816

在线出版日期: 2007-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）