基于神经网络的扫描探针显微镜标定技术研究

摘要：

扫描探针显微镜在标定过程中很难准确建模,本文提出了一种基于神经网络的标定方法。根据输入值与目标值的关系建立模型,避免了从扫描探针显微镜扫描原理出发的物理建模的不确定性对系统性能的影响,提高了标定精度。

关键词： 神经网络 扫描探针显微镜 标定过程 标定方法 标定精度

作者: 孙鑫 费敏锐

作者单位: 上海大学机电与自动化学院,200072

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年中国科学技术协会年会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 16-20

在线出版日期: 2007-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）