新型真空计校准装置的研制

摘要：

针对一般真空计量标准大都是粗、低真空的玻璃校准系统和中真空的金属校准系统,由于操作复杂、效率低,宽量程校准不能连续,安全性差,繁琐而又耗时等问题,采用金属超高真空结构,研制出一种新型真空计校准装置.装置以动态、静态比对法和静态膨胀法作为校准方法,用于对(10-4～105)Pa范围的各种真空计校准。该装置提高了校准的效率,并且具有量程范围宽、准确度高、性能稳定、操作简便、安全可靠等特点。

关键词： 真空计 校准装置 真空计量标准 静态比对法

作者: 李柯巍

作者单位: 西安航空发动机(集团)有限公司计量测试所,西安,710021

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年航空试验测试技术学术交流会

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 638-646

在线出版日期: 2007-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）