纳米级芯片在激光产生的等离子体激波除尘时瞬态响应的有限元分析
本文用有限元方法模拟了纳米级光掩膜(铬膜石英基)在激光产生的等离子体激波除尘时的瞬态响应。激波的压力和速度通过实验拟合得到.在模拟中激波的作用描述为有限元模型的压力与温度边界条件,而激波的传播则根据其速度表现为对离散的膜表面的连续激励.模拟结果表明膜的径向和环向应力主要由铬膜的热膨胀引起,据此改进了实验手段。
纳米级芯片 等离子体激波除尘 瞬态响应 有限元分析
周东 林翰
重庆交通大学土木建筑学院,重庆市南岸区学府大道66号,400074 中国科学院深圳先进技术研究院产品与工程仿真实验室,深圳市南山区蛇口南海大道1019号南山医疗器械产业园A座三楼,518067
国内会议
第三届中国CAE工程分析技术年会暨2007全国计算机辅助工程(CAE)技术与应用高级研讨会
大连
中文
96-101
2007-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）